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《电子工业用四氯化硅》

适用范围：本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。

标准编号：GB/T 38867-2020
中文标题：电子工业用四氯化硅
英文标题：Silicon tetrachloride for electronic industry
替代情况：
主题分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工>其他化工产品>【G86】工业气体与化学气体
国际标准分类号：
标准体系分类：国家标准
发布日期：2020年7月21日
实施日期：2021年2月1日
发布部门：国家市场监督管理总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司等
起草人：徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭等
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