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《电子工业用二氯硅烷》

适用范围：本标准规定了电子工业用二氯硅烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全的要求。本标准适用于歧化法制备的二氯硅烷。

标准编号：GB/T 38866-2020
中文标题：电子工业用二氯硅烷
英文标题：Dichlorosilane for electronic industry
替代情况：
主题分类：石油化工原料及产品
中国标准分类号：化工>其他化工产品>【G86】工业气体与化学气体
国际标准分类号：
标准体系分类：国家标准
发布日期：2020年7月21日
实施日期：2021年2月1日
发布部门：国家市场监督管理总局
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海）有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、西南化工研究设计院有限公司
起草人：丰雷、叶家爱、龚瑞、杨剑、刘畅、万烨、张园园等
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