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《电子特气 氟甲烷》
适用范围:本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。
标准编号:GB/T 40418-2021
中文标题:电子特气 氟甲烷
英文标题:Electronic specialty gas—Fluoromethane
替代情况:
主题分类:石油化工原料及产品
中国标准分类号:化工>其他化工产品>【G86】工业气体与化学气体
国际标准分类号:
标准体系分类:国家标准
发布日期:2021年8月20日
实施日期:2022年3月1日
发布部门:国家市场监督管理总局
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:浙江省化工研究院有限公司 、昊华气体有限公司 、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司等
起草人:史婉君 、张建君 、方小青 、孙福楠 、付梦月 、侯玲玲 、郑秋艳 、董云海 、谭慧 、褚人财等
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