《电子特气 氟甲烷》

适用范围:本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。 本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。


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